参考规范:
《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472
《洁净室施工及验收规范》GB-50591
《洁净厂房设计规范》GB-50073
《通风与空调工程施工质量验收规范》GB-50243
电子厂净化车间等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外电子厂净化车间对静电要求极其严格,其中对湿度的要求尤甚。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子厂净化车间的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。